共用装置
ナノサーチ顕微鏡(微細表面構造計測顕微鏡)
装置の特徴
広い視野をもつ光学顕微鏡と、レーザー顕微鏡(LSM)およびプローブ顕微鏡(SPM)を一体化させることにより、試料を同じ光軸上で数百倍から百万倍以上に拡大させ、見たいところを見失うことなく、ミリからナノの世界を自由に行き来して効率的に観察・測定することができます。
仕様
- レーザー顕微鏡(LSM)部
- 光源:半導体レーザー(408±5nm)、0.9mW
- 検鏡方法:非共焦点レーザー、共焦点レーザー、レーザー微分干渉、明視野、暗視野
- 観察視野:2560μm~21μm
- プローブ顕微鏡(SPM)部
- 光源:半導体レーザー(650nm)
- 変位検出系:光てこ式
- 最大走査範囲:XY方向30μm、Z方向4μm
- サンプル
- 高さ上限:54.5mm、重量上限:10kg
料金
学外利用者
2,187円/時間
2,187円/時間
装置担当者による支援
受託測定:粗さ、段差計測等
受託測定:粗さ、段差計測等
連絡先:トライボロジー融合研究拠点
担当:粕谷 TEL:022-217-6152 E-mail:tribology @ niche.tohoku.ac.jp
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