トライボロジー融合研究拠点

東北大学

共用装置

ナノサーチ顕微鏡(微細表面構造計測顕微鏡)

ナノサーチ顕微鏡(微細表面構造計測顕微鏡)

装置の特徴

広い視野をもつ光学顕微鏡と、レーザー顕微鏡(LSM)およびプローブ顕微鏡(SPM)を一体化させることにより、試料を同じ光軸上で数百倍から百万倍以上に拡大させ、見たいところを見失うことなく、ミリからナノの世界を自由に行き来して効率的に観察・測定することができます。

測定画面例

仕様

レーザー顕微鏡(LSM)部
光源:半導体レーザー(408±5nm)、0.9mW
検鏡方法:非共焦点レーザー、共焦点レーザー、レーザー微分干渉、明視野、暗視野
観察視野:2560μm~21μm
プローブ顕微鏡(SPM)部
光源:半導体レーザー(650nm)
変位検出系:光てこ式
最大走査範囲:XY方向30μm、Z方向4μm
サンプル
高さ上限:54.5mm、重量上限:10kg

料金

学外利用者
2,187円/時間
装置担当者による支援
受託測定:粗さ、段差計測等

連絡先:トライボロジー融合研究拠点
担当:粕谷 TEL:022-217-6152 E-mail:tribology @ niche.tohoku.ac.jp

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