トライボロジー融合研究拠点

東北大学

共用装置

表面粗さ測定機

表面粗さ測定機

装置の特徴

X軸の分解能は50nm、Z1軸(検出器)の分解能は8μmレンジの場合では0.1nmであり高精度です。
また、X軸には高精度リニアスケール、Z2軸(コラム)にはABS(絶対原点)スケールを搭載しているので、上下、左右の動作を組み合わせた試料表面粗さの全自動測定が可能です。

仕様

測定範囲
X軸:100mm、Z1軸:800μm、80μm、8μm
分解能
検出器分解能
10nm(800μmレンジ)、1nm(80μmレンジ)、0.1nm(8μmレンジ)
X軸駆動部分解能:50nm
Z2軸駆動部移動量
300mm
サンプル
高さ上限:300mm、重量上限:15kg

料金

学外利用者
959円/時間
装置担当者による支援
受託測定:表面粗さ計測等

連絡先:トライボロジー融合研究拠点
担当:粕谷 TEL:022-217-6152 E-mail:tribology @ niche.tohoku.ac.jp

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