装置の特徴

X軸の分解能は50nm、Z1軸（検出器）の分解能は8μmﾚﾝｼﾞの場合では0.1nmであり高精度です。
また、X軸には高精度リニアスケール、Z2軸（コラム）にはABS（絶対原点）スケールを搭載しているので、上下、左右の動作を組み合わせた試料表面粗さの全自動測定が可能です。

仕様

測定範囲

X軸：100mm、Z1軸：800μm、80μm、8μm

分解能

検出器分解能
10nm（800μmﾚﾝｼﾞ）、1nm（80μmﾚﾝｼﾞ）、0.1nm（8μmﾚﾝｼﾞ）

X軸駆動部分解能：50nm

Z2軸駆動部移動量

300mm

サンプル

高さ上限：300mm、重量上限：15kg

料金

連絡先：トライボロジー融合研究拠点
担当：粕谷　TEL：022-217-6152　E-mail：tribology @ niche.tohoku.ac.jp

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