装置の特徴

• 測定に先立って行うスリットの設定等の光学系調整や半割り等で試料の高さ・角度を設定する試料位置調整において、最適条件を教えてくれるガイダンス機能を有しており、また、それらの自動調整を行います。
• 通常のX線回折、薄膜厚さ等を調べることができる反射率測定に加えて、X線を試料表面近傍に入射して薄膜の試料面内回折をスキャン（インプレーン測定）することで、試料面に垂直方向の結晶情報、配向や結晶性、歪み等を高精度で測定することができます。

仕様

X線発生部

最大定格出力：9kW（45kV、200mA）

ターゲット：Cu

ゴニオメーター

最小ステップ角度：0.0001°

サンプル

標準サイズ：φ100mm×3mmt以内、高さ上限：24mm、重量上限：1kg

料金

連絡先：トライボロジー融合研究拠点
担当：水上　TEL：022-217-6152　E-mail：tribology @ niche.tohoku.ac.jp

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